处理装置、处理系统、管理装置、显示方法、记录介质、半导体装置的制造方法

本发明提供处理装置、处理系统、管理装置、显示方法、记录介质、半导体装置的制造方法，能够向用户通知基板处理装置中的部件的状态和该部件的更换时期。具有控制部，该控制部使显示部在品质信息的每个判定定时以与时间信息关联起来的状态显示所述时间信息和所述品质信息，其中，所述时间信息表示与在对基板进行处理的处理部中使用的处理用部件、具备气体供给系统或气体排气系统且能够控制所述处理部内的气氛的气氛控制部中使用的流量控制用部件、以及在搬送基板的搬送部中使用的搬送控制用部件中的至少能够运转的部件的使用时间相关的信息，所述品质信息是判定为所述部件为预定等级的品质状态的信息。