一种漏电缺陷TSV等效电路的建模方法

本发明公开了一种漏电缺陷TSV等效电路的建模方法，解决了现有技术中漏电缺陷可能会加速芯片和封装的老化，缩短设备的使用寿命，增加故障率，甚至影响最终产品的可靠性的问题，该方法包括：采用分布式建模方法建立漏电缺陷TSV模型的分布式等效电路；分别对漏电缺陷TSV模型和分布式等效电路进行仿真，得到模型仿真结果和电路仿真结果；设定误差阈值，计算模型仿真结果和电路仿真结果之间的误差，得到误差结果；判断误差结果与误差阈值之间的关系，输出分布式等效电路；实现了构建分布式等效电路，对分布式等效电路进行仿真，实现等效电路模型和漏电缺陷TSV物理模型的映射。