一种基于EtherCAT控制系统下的探针台螺距补偿方法

本发明涉及半导体设备测试技术领域，具体公开了一种基于EtherCAT控制系统下的探针台螺距补偿方法，包括：S1、误差测量；S2、误差建模；S3、实时误差检测；S4、误差补偿计算；S5、位置修正；S6、数据记录与优化；S7、监控与反馈；本发明EtherCAT系统支持高速同步通信，可实现毫秒级反馈和补偿，大幅减少位置误差的累积，结合实时反馈数据和误差模型，能够动态调整补偿值，适应环境变化对设备精度的影响，通过高阶多项式误差模型，准确描述复杂误差分布，补偿精度可达到亚微米级，采用实时监测设备运行状态，形成闭环补偿机制，减少开环系统可能出现的不确定性，通过反馈数据的长期积累和优化，提高系统对误差变化的适应性。