一种晶圆测试探针卡结构及测试方法

本发明公开了一种晶圆测试探针卡结构及测试方法，该探针卡结构包括探针、软板、第一电容、第二电容、铜箔、固针环和PCB板，探针设置有若干个，探针、软板和固针环分别设置于PCB板上，第一电容和第二电容设置于软板上，探针通过软板与第一电容、第二电容相连接，铜箔设置于PCB板上且焊接在固针环外围，与GND相连。本发明在现有探针卡结构的基础上，增设软板、第一电容、第二电容和铜箔，通过设计软板和铜箔有利于屏蔽电源杂波，同时将探针通过软板与第一电容、第二电容相连接，能够使电容在布局上更靠近芯片，提高滤波效果，从而利于进一步提高测试数据的准确性，测试效果更好，且整体结构简单、设计巧妙，适合进行工业化推广使用。