集成电路制造设备状态监测系统和方法

本发明属于集成电路制造技术领域，提供了集成电路制造设备状态监测系统和方法，包括：数据采集模块；状态评估模块，与所述数据采集模块相连；预警模块，与所述状态评估模块相连；自适应调整模块，与所述状态评估模块相连；本发明通过集成数据采集模块、状态评估模块、预警模块和自适应调整模块，能够实时采集设备的运行参数和环境参数，并基于预设的算法模型进行数据处理和状态评估，实现对设备状态的全面监测；该系统不仅提高了监测的准确性和实时性，还有效降低了人工巡检的成本和难度，同时在数据采集、状态评估、预警及自适应调整等方面均进行了技术创新，进一步提升了设备的稳定性和可靠性。