基于单片式FBAR谐振器阵列的压控振荡器及制备方法

本发明公开了一种基于单片式FBAR谐振器阵列的压控振荡器及制备方法，各压控振荡子模块的FBAR谐振器单元采用上下垂直堆叠的形式并共用硅基底形成单片式FBAR谐振器阵列，各FBAR谐振器单元之间由空腔间隔，通过独立电极引出后与位于结构底部的IC芯片连接，提高了集成度、空间利用率并减小了寄生效应，提高了振荡器的稳定性并实现了宽频带的功能。通过select开关阵列，控制模块向选通的一个驱动模块的尾电流源提供偏置电流，完成各谐振器交替工作并降低相互干扰，从而增大压控振荡器的调谐范围。控制模块还用于向调谐模块的可调电容提供与温度无关的偏置电压VT，有效减小频率随温度的漂移，使压控振荡器的频率更加稳定。