一种阵列式机器人触觉传感器及其制备方法和应用

本发明涉及压力传感技术领域，公开了一种阵列式机器人触觉传感器及其制备方法和应用，包括腔室封装层以及与腔室封装层配套安装的平面封装层，平面封装层上设有基底层，腔室封装层与基底层之间形成至少一个腔室；腔室内的顶部设有压电片，压电片下设有铜摩擦片；腔室内设有电极，电极位于基底层上；电极上设有复合材料摩擦部件，且复合材料摩擦部件与铜摩擦片之间设有间隙；当腔室封装层受到压力时，铜摩擦片与复合材料摩擦部件接触，摩擦起电，产生电压。本发明创造出一种新型的阵列式机器人触觉传感器，不仅能在微弱压力下产生高灵敏度的压力反馈，还能够实现良好柔性，从而大大拓展了传感器在复杂环境中的应用范围和工作能力。