一种钟摆阀的开度调节方法、系统、装置、控制器及介质

本申请适用于超导芯片工艺领域，尤其涉及一种钟摆阀的开度调节方法、系统、装置、控制器及介质。开度调节方法应用于开度调节系统，开度调节系统包括控制器和伺服马达，控制器和伺服马达之间通信连接，伺服马达与钟摆阀的开度调节部件之间机械连接，包括：根据开度调节指令，实时获取钟摆阀控制连通的腔室内的当前压力值和当前气体通入流量值，将当前压力值、当前气体通入流量值与预设压力值、预设气体通入流量值进行比对，得到比对结果，通过反馈控制算法，对比对结果进行处理，得到控制信号，通过通信连接，将控制信号发送给伺服马达，以使伺服马达根据控制信号，通过与机械连接，对钟摆阀进行开度调节。自动化地实现了对钟摆阀开度的动态调节。