晶圆缺陷检测图像的处理方法、设备及计算机存储介质

本申请公开了一种晶圆缺陷检测图像的处理方法、设备及计算机存储介质。方法包括：通过计算晶圆缺陷检测图像所有像素点的灰度分布特征，确定目标熵值以及所述目标熵值对应的第一灰度划分阈值；确定第二灰度划分阈值；根据第一灰度划分阈值以及第二灰度划分阈值，对晶圆缺陷检测图像的所有像素点的灰度值进行划分，得到晶圆缺陷检测图像的多个灰度区间；根据多个灰度区间对应的不同预设灰度值调节策略，对多个灰度区间中像素点的灰度值进行对比度调节，得到对比度调节后的晶圆缺陷检测图像。根据本申请实施例，能够提升晶圆缺陷检测的精度。