一种基于大语言模型的机台监测参数提取方法及装置

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一种基于大语言模型的机台监测参数提取方法及装置
申请号:CN202510172774
申请日期:2025-02-17
公开号:CN119647457B
公开日期:2025-04-11
类型:发明专利
摘要
本发明提供一种机台设备监测参数选取方法及装置,所述方法包括:首先,提取机台设备的技术手册中的手册全文信息、图片及对应的图名;接着,使用LLM分析图名,得到描述机台设备整体架构和组件的部分图名;然后,利用多模态模型从这部分图名对应的图片中得到机台架构信息和组件组成信息;然后,将这些信息与所述手册全文信息输入LLM,得到对应所述部分图片的摘要,将其输入LLM得到组件分类信息;接着,将所述摘要、组件分类信息、参数与组件的关联信息以及多条参数信息输入LLM,得到其中各个参数的推理信息;最后,将所述各个参数的推理信息,以及描述参数重要性判断依据的信息输入LLM,得到最终的监测参数。
技术关键词
机台设备 手册 大语言模型 摘要 图片 设备组件 参数选取方法 半导体机台 标识符 字段 文本 参数提取方法 组件结构 多模态 识别模块 分段 形态
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