一种半导体芯片的焊接方法及装置

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一种半导体芯片的焊接方法及装置
申请号:CN202510173105
申请日期:2025-02-17
公开号:CN119650482A
公开日期:2025-03-18
类型:发明专利
摘要
本发明公开一种半导体芯片的焊接方法及装置,其中,半导体芯片的焊接方法包括:对多层堆叠封装进行热场扫描,获得整体热成像数据,生成包含多个独立热控分区的热场分区示意图;对各独立热控分区进行脉冲式回流升温处理,获得实时温度数据;进行实时熔融态检测,获得表面形貌数据和温度分布数据;对处于降温阶段的独立热控分区进行气氛切换处理,生成气氛切换分区;对气氛切换分区进行微周期稳态检测,对存在异常的气氛切换分区进行局部再加热处理,生成再加热分区;对再加热分区进行动态冷却处理。本发明技术方案通过分区式脉冲回流与实时监测相结合,对多层堆叠封装中的焊点熔融状态进行精确控制,有效防止了非完全回流缺陷的产生。
技术关键词
分区 多层堆叠封装 热控 表面形貌数据 半导体芯片 焊点 焊接方法 热成像 气氛 速率 反射率数据 脉冲 加热 轮廓数据 动态 焊接装置 稳态 速度 周期
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