摘要
本发明公开一种半导体芯片的焊接方法及装置,其中,半导体芯片的焊接方法包括:对多层堆叠封装进行热场扫描,获得整体热成像数据,生成包含多个独立热控分区的热场分区示意图;对各独立热控分区进行脉冲式回流升温处理,获得实时温度数据;进行实时熔融态检测,获得表面形貌数据和温度分布数据;对处于降温阶段的独立热控分区进行气氛切换处理,生成气氛切换分区;对气氛切换分区进行微周期稳态检测,对存在异常的气氛切换分区进行局部再加热处理,生成再加热分区;对再加热分区进行动态冷却处理。本发明技术方案通过分区式脉冲回流与实时监测相结合,对多层堆叠封装中的焊点熔融状态进行精确控制,有效防止了非完全回流缺陷的产生。
技术关键词
分区
多层堆叠封装
热控
表面形貌数据
半导体芯片
焊点
焊接方法
热成像
气氛
速率
反射率数据
脉冲
加热
轮廓数据
动态
焊接装置
稳态
速度
周期
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