基于干涉条纹相位提取的实时自动对焦方法

本发明公开基于干涉条纹相位提取的实时自动对焦方法，具体步骤包括：导入初始干涉图像，将对焦状态位置设定为初始相移值并将其置零；检测系统运行时保持干涉图像视频流输入，通过改良迭代算法实时计算相移值和相位值；将计算结果换算成离焦值，控制PZT控制器完成对焦。本发明提出的自动对焦方法根据干涉条纹的相位移动获取离焦量，将高精度位移测量方法引入至自动对焦技术，相较于传统显微对焦方法突破性地提高了对焦精度，具有很强的创新性；并基于干涉图像的方法，通过迭代运算提取出最贴近实际的相位信息，不断通过干涉图像的视频流实时处理，运算速度较快，可以在检测系统扫描过程中完成实时对焦。