一种具有嵌入式微流道结构的阵列式光电芯片及制备方法

本发明公开了一种具有嵌入式微流道结构的阵列式光电芯片及制备方法，涉及集成电路技术领域；所述芯片包括IC基板、绝缘介质层、像素阵列、透明导电层、透明盖板和微流道结构；所述像素阵列设置在绝缘介质层内，且一侧连接透明导电层，另一侧连接IC基板，所述透明盖板设置在透明导电层外侧；所述微流道结构包括微流动通道、进液口和出液口，所述微流动通道分布在像素阵列中各像素元器件的间隙，所述透明盖板上开设有与微流动通道连通的进液口和出液口，所述微流动通道内流动有冷却介质；本发明实现了高效的热管理，显著提升了器件的散热和冷却性能，保障了器件的工作性能，同时具有更高的集成度。