一种三轴加速芯片及制作方法

本申请涉及一种三轴加速芯片及制作方法，在本申请的技术方案中，通过将X轴方向检测电容组、Z轴负方向检测电容组和Y轴方向检测电容组、Z轴正方向检测电容组在厚度方向间隔，避免了X、Y轴的串扰，降低了设计难度，并且，X轴方向检测电容组、Z轴负方向检测电容组所在的上功能层，和Y轴方向检测电容组、Z轴正方向检测电容组所在的下功能层设计图形完全一致，可以使用同样的版图和工艺完成加工，节省了工艺调试的时间和成本。