一种工艺/结构/性能的解析模型验证方法和装置

本申请提供一种工艺/结构/性能的解析模型验证方法和装置。本申请提供的方法，包括：确定工艺/结构/性能的解析模型的待测工艺条件；基于所述待测工艺条件确定激光功率等级和扫描速度等级；制作待扫描样本；从待扫描样本上筛选候选扫描区域；基于候选扫描区域图像提取晶粒特征信息；根据所述晶粒尺寸信息计算材料硬度；将所述材料硬度、所述晶粒硬度信息与对应的待测工艺条件进行组合，得到评估数据集，基于所述评估数据集评估所述解析模型的性能。本申请提供的工艺/结构/性能的解析模型验证方法和装置，用以对工艺/结构/性能的解析模型进行性能验证，确保工艺/结构/性能的解析模型在实际工艺生产应用中的可靠性和准确性。