摘要
本发明涉及探针加工设备技术领域,尤其是涉及一种射频探针及其弯折治具,射频探针包括探针主体、针尖和RF接头,探针主体包括第一弯折部、第二弯折部、第一连接部和第二连接部,第一弯折部和第二弯折部相连,且第一弯折部的弯折方向相反于第二弯折部的弯折方向,第一连接部与第一弯折部远离第二弯折部的一端相连,且针尖与第一连接部远离第一弯折部的一端相连,第二连接部与第二弯折部远离第一弯折部的一端相连,且RF接头与第二连接部远离第二弯折部的一端相连。本申请有助于提升针尖位置的稳定性,从而提升针尖与待测芯片抵接位置的精确性,进而保障了芯片的测试效果。
技术关键词
射频探针
探针主体
弯折组件
夹紧组件
传动构件
夹块
限位组件
支撑块
夹紧块
锁环
活塞环
安装槽
接头
安装板
底座
液压油
芯片
卡槽
活塞杆
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