基于图像圆弧特征提取的晶圆凸点高度检测方法、装置、设备及介质

本发明提供一种基于图像圆弧特征提取的晶圆凸点高度检测方法、装置、设备及介质，包括：获取待测晶圆的凸点和基底平面所成的光条图像；对光条图像进行边缘提取，获得光条边缘；基于霍夫变换对光条边缘进行圆弧特征检测获得若干圆形；对检测出的若干圆形的冗余解进行去除；根据光条图像的几何特征生成掩膜区域，对去除冗余解后剩余的圆形基于生成的掩膜区域进行剔除，得到图像圆弧特征；基于图像圆弧特征计算得到晶圆凸点的高度。因此，本发明通过非极大值抑制和掩膜策略对霍夫圆检测的结果进行优化，从而实现精确的圆弧特征求解，实现晶圆凸点的高度测量。