摘要
本申请公开了一种微流控芯片及微流控芯片制造方法。本申请的微流控芯片在至少两个第一支撑件之间形成光电导区域,光电导区域内设有光电导层,光束照射下极板并通过光电导层产生介电泳力驱动细胞运动,能实现对细胞的有效操控;将上极板和下极板之间的支撑结构分为第一支撑件和第二支撑件,至少两个第一支撑件相邻设置,相邻的两个第一支撑件之间形成微流体通道,第二支撑件用于在上极板和下极板之间形成辅助支撑,可有效提高微流控芯片的稳定性;此外,再将第二支撑件设置在第一支撑件的外侧,既能不干扰微流体通道内细胞的运动,又能在外侧提供稳定且均匀的支撑效果。
技术关键词
支撑件
微流控芯片
光电
微流体通道
介电泳力驱动
光束
微流道结构
倾斜面
涂敷
光刻胶
涂覆
掩膜
运动
尺寸
曲面
导电
真空
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