一种非球面镜全口径面形加工误差的确定方法及装置

本发明提供了一种非球面镜全口径面形加工误差的确定方法及装置，该方法包括：获取待检测的非球面镜的各环形子孔径区域内的各相位测量点的相位测量值；以全口径圆形泽尼克多项式系数和各子孔径环形泽尼克多项式系数为自变量构建全局优化函数，计算全局优化函数的自变量最优解；获取自变量取最优解时各相位测量点对应的像差项，计算各相位测量点的相位测量值与对应的像差项的差值，得到待检测的非球面镜的全口径面形加工误差相位值。本发明实现了对非球面镜的面形加工误差的解耦合，提升了非球面光学元件的面形测量精度，提升了面形测量准确性和精度。