摘要
本发明公开了一种基于机器学习模型的良率预测系统,涉及半导体测试设备用良率预测系统领域。其一种基于机器学习模型的良率预测系统,包括:数据采集模块,用于采集产品的历史lot数据;数据计算模块,根据采集数据计算总良率;模型训练模块,基于所述历史lot数据训练多个基于人工智能的良率预测模型,得到良率预测模型,所述良率预测模型的输入为生产数据,输出为预测良率。本申请通过机器学习算法模型,结合大量生产数据,可以在现有历史lot数据的基础上得到良率预测模型,通过多组数据集的训练和特征提取,找到影响良率的主导因子,同时针对精确度和回归值调整数据集的模型,保证良率预测模型更加准确。
技术关键词
机器学习模型
预测系统
良率
模型训练模块
机器学习算法模型
半导体测试设备
数据采集模块
屏幕显示模块
控制单元
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