自动SRAF曝光显像抑制方法、装置、介质、程序产品及终端

本发明提供自动SRAF曝光显像抑制方法、装置、介质、程序产品及终端，通过多轮迭代优化技术手段，实现在初始曝光图形中检测到干扰图形时对SRAF放置区域进行优化，当新的曝光图形满足预设终止条件时，结束迭代优化操作，从而解决了传统方法中需重新设计SRAF放置规则所带来的时间浪费和流程复杂性问题。本发明不仅保持了SRAF的原有空间位置，最大限度地保障了对主图形分辨率的增强效果，还提升了图形的清晰度和精度，从而提高了生产效率，简化了制造过程，为实际应用提供了更为便捷的解决方案。