准分子光源驱动控制电路及激光设备

本申请公开了一种准分子光源驱动控制电路及激光设备。该电路包括：控制器；光源支路，包括准分子光源和变压器，准分子光源与变压器的二次侧串联；驱动支路，连接于控制器的脉冲控制端与变压器的一次侧之间，并接入电源电压，用于接收控制器输出的脉冲控制信号，以产生驱动电流，驱动准分子光源发光；温度检测支路，连接控制器的温度反馈端，用于检测准分子光源的光源温度，并将光源温度反馈至控制器；温度调节支路，连接控制器的调节控制端，用于接收控制器基于光源温度产生的调节控制信号，以对光源支路进行温度调节。通过上述电路，本申请能够高效、稳定地驱动准分子光源，维持其在适宜环境下的高效运行，提高准分子光源的转化效率和稳定性。