一种垂直腔面发射激光器、制备方法及激光器发光模块

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一种垂直腔面发射激光器、制备方法及激光器发光模块
申请号:CN202510193670
申请日期:2025-02-21
公开号:CN120016282A
公开日期:2025-05-16
类型:发明专利
摘要
本发明公开了一种垂直腔面发射激光器、制备方法及激光器发光模块,其中,激光器包括:激光器本体,激光器本体的表面设置有环形绝缘结构,激光器本体一侧构成圆台结构;激光器本体包括限制层,限制层位于圆台结构内;限制层包括限制通孔,限制通孔的直径范围为0.5~6um;欧姆接触环,设置在圆台结构的表面;绝缘层,设置在欧姆接触环远离激光器本体一侧第一电极层,第一电极层通过第一开口与欧姆接触环连接,实现减少发光孔中心部分分布的载流子和发光孔边缘处的载流子之间的数量差距,从而使发光孔内的载流子分布更均匀,避免出光光斑中心部分形成黑洞,有利于形成高斯光斑,同时,可以提升阵列芯片的耐热性,以及耐直流和耐大电流注入的能力。
技术关键词
圆台结构 激光器 绝缘结构 电极 发光模块 通孔 间距 衬底 环形 光斑 层叠 阵列 芯片 电流
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