一种晶圆加工过程工艺参数相关性分析方法及相关设备

本申请提供一种晶圆加工过程工艺参数相关性分析方法及相关设备，通过确定晶圆加工过程中需要进行相关性分析的目标参数；根据目标参数，在数据仓库中获取与目标参数属于同一晶圆批次的其他所有工艺参数及对应的参数值，并打包成数据集合；将数据集合输入至机器学习算法模型中，通过机器学习算法计算目标参数与其他工艺参数之间的相关性；根据相关性计算结果，确定影响目标参数的关键工艺参数。本申请通过机器学习算法自动计算并识别目标参数与其他工艺参数之间的相关性。这样能够有效筛选出影响目标参数影响的关键工艺参数，为多因素共同影响引起的工艺缺陷问题提供了客观的数据支撑和决策依据，降低了故障分析及问题定位的难度。