一种集成电路芯片生产的硅片抛光设备

本发明公开了一种集成电路芯片生产的硅片抛光设备，本发明涉及抛光设备技术领域，包括底座柜，所述底座柜底部的四角处固定安装有支撑脚，所述底座柜顶部的侧边处固定安装有立柱，所述立柱外表面的顶部固定安装有安装柜，所述底座柜的表面处开设有散热孔，所述底座柜顶部的中间处安装有放置压紧机构，所述安装柜的底部安装有抛光机构。该集成电路芯片生产的硅片抛光设备，通过放置压紧机构放置切割好的硅片，并将这些硅片向上挤压，使其与抛光部件紧密贴合，抛光机构在抛光过程中添加抛光液并对放置在压紧机构中的硅片进行统一抛光操作，大大提高了硅片的抛光效率。