摘要
本发明涉及集成电路清洁技术领域,且公开了一种集成电路生产用清洁装置,包括转送磨划装置,所述转送磨划装置的一侧固定连接有芯片清理装置,所述芯片清理装置的一侧固定连接有焊线除烟装置,通过设有转送磨划装置将芯片放置于盘中通过履带传送到各个制作工艺中,提高制作工艺的连续性,对特殊工艺进行处理提高芯片制作效率,通过在转送磨划装置设有芯片清理装置,利用光电转化原理将光能转化为电能,提高能源的利用率,清洁集成电路芯片,避免在后续焊线工艺中芯片因灰尘颗粒造成的影响,通过芯片清理装置的一侧设有焊线除烟装置,通过转送磨划装置的动力带动扇叶旋转,提高能源的利用率和提高装置的整体清洁效率。
技术关键词
芯片清理装置
清洁装置
履带
正面
动力轮
金属盘
传动链条
转化器
水闸
集成电路芯片
螺母
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