基于VCSEL锁相阵列和液晶的动态可调特种光束生成芯片

本发明公开了基于VCSEL锁相阵列和液晶的动态可调特种光束生成芯片，通过采用质子注入型同相耦合VCSEL阵列作为大面积近场均匀的相干激光源，利用其平面结构和垂直出射特点，直接在其表平面集成光学相控阵，从而形成微型集成相控激光扫描芯片。研究了液晶光学相控阵和同相耦合VCSEL阵列的集成技术、制备工艺等关键技术。该芯片不需要光学元件、光纤或者光源与相控阵耦合效率高，芯片整体体积小，封装简单，可靠性高，实现了微型相控特种光束芯片，为各种光束偏转及成像应用提供了一种可供选择的芯片级光束扫描方法，同时液晶的动态可调也为实现涡旋光束的生成、调制提供一种可靠的方法。