摘要
本发明涉及一种上压吸附激光加工台,包括DD马达、吸盘底座和真空吸盘,吸盘底座安装在DD马达上,真空吸盘安装在吸盘底座上;在真空吸盘的正上方设置有上压板,在上压板的中心槽内安装有石英,产品放置在石英正下方的真空吸盘上;在上压板外侧的吸盘底座上沿着圆周方向均布有若干个压块,在压块内沿着竖直方向安装有调节丝杆,调节丝杆可在压块内上下移动并与下方的上压板相接触。本发明将芯片吸附在载台上,再架石英上压芯片上,激光透过石英来加工,保证加工过程中芯片固定不动。
技术关键词
吸盘底座
真空吸盘
压块
调节丝杆
DD马达
石英
压板
激光
陶瓷吸盘
螺纹套
芯片
顶针
胶粘
密封圈
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