一种芯片角磨设备及研磨方法

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一种芯片角磨设备及研磨方法
申请号:CN202510203038
申请日期:2025-02-24
公开号:CN119658552B
公开日期:2025-05-02
类型:发明专利
摘要
本发明提供的一种芯片角磨设备及研磨方法,芯片角磨设备包括角磨基座和角磨本体,第一滚轮和第二滚轮上绕卷连接有研磨带。通过角磨本体驱动第一滚轮和第二滚轮进行同步转动,使研磨带能够连续稳定地对芯片侧面进行研磨。通过第一滚轮与第二滚轮的配合,研磨带能够在较大接触面积上均匀分布研磨力,提高了研磨效率。采用角磨基座作为整体支撑结构,并在其上安装角磨本体和工作台,使得整个设备结构紧凑,占地空间小,便于集成至生产线中。本发明采用研磨带进行研磨,相较于刚性砂轮,其接触面柔性较好,能够更均匀地分布研磨力,降低了芯片因冲击或应力集中而损坏的风险,从而有效提升了芯片加工的良品率。
技术关键词
芯片 工作台 移动板 滚轮 基座 研磨方法 移动组件 调节杆 调节件 整体支撑结构 调节螺丝 驱动件 收集盒 连杆 角度标尺 竖直高度 安装槽 滑块 滑槽 接触面
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