一种提高微通道板生产效率的方法

本发明涉及微电子制造技术领域，具体为一种提高微通道板生产效率的方法，包括以下步骤：在微通道板的原材料上采用脉冲激光沉积技术进行涂层处理，通过调整激光能量密度来精确控制沉积速率；根据设定的沉积速率和薄膜厚度要求，实时调节等离子体增强化学气相沉积过程中反应气体的比例；基于环境传感器数据反馈，动态调整生产过程中的湿度和温度；基于上述条件优化的结果，对微通道成型时的压力和时间参数进行精细调控。通过调节反应气体比例来实现微通道内部壁面沉积的均匀性；基于传感器数据动态调整环境条件保证材料收缩率和应力分布稳定。