基于自编码器的关键尺寸扫描电子显微镜测量错误检测方法

本发明涉及一种基于自编码器的关键尺寸扫描电子显微镜测量错误检测方法，包括如下步骤：获取关键尺寸扫描电子显微镜的测量输出图像；针对所述测量输出图像，通过图像处理提取测量标记的位置信息；以所述测量输出图像作为预先构建并训练后的卷积自解码器的输入，得到去除图像中噪声和细节信息的重构图像；针对所述重构图像，通过边缘轮廓提取，得到光刻胶图案的轮廓信息；基于所述轮廓信息以及所述测量标记的位置信息，通过计算测量标记与最近的轮廓点的距离，判断是否存在测量错误。与现有技术相比，本发明具有提高显微镜测量分析的速度等优点。