一种基于噪声模型的扫描电子显微镜图像去噪方法

本发明公开了一种基于噪声模型的扫描电子显微镜图像去噪方法，通过分析扫描电子显微镜SEM的成像原理，构建SEM噪声模型；对待去噪SEM图像进行噪声参数拟合，获得噪声参数，并生成模拟噪声图像；对CNN去噪网络进行训练，将再次加噪后的图像作为其中一个通道，另一个通道是模拟噪声图像，通过双通道并行的形式送入CNN去噪网络的输入端，输出端是待去噪SEM图像，直至CNN去噪网络收敛；将待去噪SEM图像和模拟噪声图像一同送入收敛后的CNN去噪网络，实现SEM图像去噪。该方法能够在去除SEM图像大量噪声的同时，有效保持原始SEM图像的结构，在不需要干净数据的前提下有效去除SEM图像噪声。