一种用于扫描电镜的快速定位方法

本发明公开了一种用于扫描电镜的快速定位方法，包括以下步骤：获取样品的参考图像和目标图像；将参考图像和目标图像分解成若干区域，分别提取参考图像和目标图像中各区域的目标点；匹配参考图像和目标图像相同区域的目标点对，计算目标图像中目标点所在区域的形变张量，区分目标图像中各区域的形变类型；根据局部形变类型，将目标图像的若干区域动态分配仿射或薄板样条变换模型；将若干子模型进行拼接，获取样品完整的三维模型；基于得到的三维模型，实时映射目标点的坐标；本发明根据目标图像不同区域的形变张量使用变换模型得到精准的样品三维模型，进而实现对翘边曲面位置目标点的高精度重建，进而提高目标点在三维空间中的定位精度。