双标定板的双龙门针刺式固晶机线性度校准方法及装置

本发明公开了一种双标定板的双龙门针刺式固晶机线性度校准方法及装置，属于固晶机设备技术领域，包括以下步骤：S1、在双龙门针刺式固晶机的晶圆机构上设置双标定板，双标定板包括标定板一和标定板二；S2、通过移动晶圆机构和针刺机构，使相机对准双标定板的中心，记录下双标定板的坐标数据；S3、通过标定测量得出所有标定点的标定结果集合；S4、通过标定结果对固晶时的晶圆机构坐标进行补偿，从而调整固晶的坐标。本发明采用上述的双标定板的双龙门针刺式固晶机线性度校准方法，能够精确分析偏差并提供有效的补偿策略，可显著提高机械系统的线性运动精度，保障产品质量。