侧向搬运机器人

本发明公开了一种侧向搬运机器人，属于半导体搬运技术领域。侧向搬运机器人包括移动底盘、安装基架和工作单元，安装基架设置于移动底盘上；工作单元包括提升机构、回转机构、横移机构、伸缩机构和取料机构，提升机构设置于安装基架上，回转机构设置于提升机构上，用于调节取料机构的角度使取料机构朝向烤箱，横移机构设置于回转机构上并能够沿第一方向移动，伸缩机构的一端与横移机构连接，取料机构与伸缩机构的另一端连接，伸缩机构的长度能够沿第二方向伸出和缩回，伸缩机构的伸出长度不小于烤箱的加热腔深度，取料机构用于抓取烤箱内的料架。本发明能够安全快速的搬运烤箱内的料架，避免发生碰撞。