一种改性硅溶胶的硅晶圆抛光液闭环生产质量控制方法

本发明涉及一种改性硅溶胶的硅晶圆抛光液闭环生产质量控制方法，所述方法包括：M1.在抛光液的生产过程中，采集抛光液生产不同批次的物料的数据信息、物料的加工工艺参数的数据信息、产品的检测参数的数据信息和废料排放的检测参数的数据信息，并构建融合混沌映射和自适应反馈调节因子的工艺参数与加工质量的关系模型，对抛光液的加工工艺参数进行预测，得到预测后的抛光液的加工工艺参数的数据信息。本发明不仅能够对抛光液的生产过程进行精确的控制和调节，从而提高抛光液的生产质量，而且整个过程无需人工参与，降低人工误差，从而降低抛光液的生成成本，提高抛光液的生产效率。