晶圆缺陷区域图像质量评估方法、装置、设备及存储介质

本发明公开一种晶圆缺陷区域图像质量评估方法、装置、设备及存储介质。方法包括获取目标晶圆图像；对目标晶圆图像进行切分处理，得到多个待识别图像后输入当前特征提取模型中进行特征提取，以得到多个具有目标标记的目标特征图，将多个目标特征图输入当前预测模型中进行评估，以得到多个预测质量指标；基于多个预测质量指标，确定目标晶圆图像的整体质量指标；获取图像质量评估参数；基于整体质量指标以及图像质量评估参数，确定目标晶圆图像的质量评估结果。本方案可以将缺陷定位至切分后的图像块，对每个图像块单独做图像质量评估，相比于整体质量评估，可以比较好的捕捉到细微的变化和缺陷特征，提高了晶圆缺陷区域图像质量评估准确性。