光栅耦合器和光学芯片

本申请涉及光栅耦合器技术领域，特别是涉及一种光栅耦合器和光学芯片。光栅耦合器包括：衬底；反射光栅结构，位于衬底的一侧，反射光栅结构包括多个间隔设置的第一光栅单元；传输光栅结构，位于反射光栅结构远离衬底的一侧，传输光栅结构包括多个间隔设置的第二光栅单元，至少部分所述第一光栅单元与所述第二光栅单元对应设置。本申请通过设置至少部分第一光栅单元与第二光栅单元对应设置，从而在形成传输光栅结构时，相邻的第二光栅单元之间没有残留物，以使得第二光栅单元刻蚀较干净，因而提升光栅耦合器的方向性和耦合效率。具体的，本申请中可以设置至少部分第一光栅单元在衬底上的正投影位于第二光栅单元在衬底上的正投影内。