一种大功率射频电源系统及快速自动调频方法

本发明涉及射频电源技术领域，具体为一种大功率射频电源系统及快速自动调频方法，包括有射频电源系统，所述射频电源系统包括有供电模块、射频信号驱动模块、射频功率放大及合成模块、负载信号V/I检测模块、处理器模块；本发明提供一种射频电源快速自动调频方法，通过实时检测特定频率下第二调制信号的反射系数，快速自动调整射频电源的输出频率至最佳状态，从而确保射频电源系统高效、稳定地运行。