一种可见光双波长偏振复用超表面全息图及其制备方法

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一种可见光双波长偏振复用超表面全息图及其制备方法
申请号:CN202510246443
申请日期:2025-03-04
公开号:CN120103682A
公开日期:2025-06-06
类型:发明专利
摘要
本发明公开一种可见光双波长偏振复用超表面全息图及其制备方法,涉及微纳制造技术领域。所述超表面全息图包括:基于纳米压印技术,由x方向和y方向周期均为450nm、高度均为800nm的超原子阵列构成;在所述超原子阵列中,所有超原子均为长方体柱状结构,且主体由掺有二氧化钛纳米颗粒的聚合物构成;各所述超原子的尺寸和位置根据GS算法确定;所述GS算法用于计算目标图像在对应波长偏振光下的相位信息;所述波长偏振光包括532nm的X偏振光和671nm的Y偏振光。本发明能够解决传统超表面器件制造工艺周期长、规模小、成本高等问题,并且为基于超表面全息术的多色成像技术提供新的开发思路。
技术关键词
全息图 二氧化钛纳米颗粒 GS算法 可见光 偏振光 波长 纳米压印技术 衬底 支撑基板 等离子去胶机 电感耦合等离子体 离子刻蚀设备 全氟辛基 超表面器件 蒸发皿 去离子水 紫外光 异丙醇 刻蚀掩膜
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