用于磷化铟晶片亚表面损伤的腐蚀检测方法

本申请涉及半导体检测技术领域，尤其涉及用于磷化铟晶片亚表面损伤的腐蚀检测方法，该方法的步骤包括：获取不同腐蚀时刻的晶片亚表面损伤层图像和腐蚀液图像；通过图像处理算法分别提取晶片亚表面损伤层图像中的腐蚀坑特征信息以及腐蚀液图像中的腐蚀液特征信息；根据腐蚀坑特征信息评估腐蚀坑特征变化趋势；根据腐蚀液特征信息评估腐蚀液特征变化趋势；结合腐蚀坑特征变化趋势评估结果和腐蚀液特征变化趋势评估结果确定腐蚀进程结束时机。本申请通过量化评估不同腐蚀时刻晶片亚表面损伤层的腐蚀坑特征变化趋势和腐蚀液特征变化趋势，有效提升了腐蚀进程的检测精度和检测效率。