一种器件尺寸测量方法、系统、设备及介质

本申请公开了一种器件尺寸测量方法、系统、设备及介质，该方法包括：获取待测器件的制造参数，并基于制造参数构建待测器件的量测模板；对量测模板进行解析，得到检测参数，检测参数包括位置信息和尺寸检测类型；获取待测器件的拍摄图像，并基于量测模板从拍摄图像中匹配出对应的感兴趣区域；基于检测参数和感兴趣区域，得到待测器件的关键尺寸参数。解决了现有技术计算复杂度高，导致量测效率较低，同时对于不同工艺和器件类型的适应性较差，难以满足多样化需求的问题。