摘要
本发明提供了一种塑封芯片外观缺陷检测方法、系统、介质及电子设备,包括:获取各芯片在不同光场下的芯片图像包;对于每个芯片图像包,根据预设芯片轮廓模板,对芯片图像包中的每个芯片进行分割,得到多个单芯片图像;结合多个单芯片图像和芯片外观缺陷异常检测模型,得到多个用来表示异常特征的掩膜轮廓;对于每个掩膜轮廓,根据预设的多个芯片外观感兴趣区域,生成多个缺陷掩膜图像;确定各缺陷掩膜图像所对应的异常特征种类;对于每一个芯片,将其在不同光场且相同芯片外观感兴趣区域下,所对应的相同种类的异常特征合并,以确定每个芯片所对应的所有异常特征的种类与数量。本发明解决了现有技术中存在人工检测效率低,检测效果差的问题。
技术关键词
外观缺陷检测方法
芯片
掩膜
缺陷检测单元
感兴趣
通道注意力机制
轮廓
定位点
定位单元
缺陷分析
光源控制模块
模板
电子设备
可读存储介质
图像采集模块
终端设备
处理器
算法
系统为您推荐了相关专利信息
MOSFET结构
ESD保护
保护单元
芯片
衬底
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