裂纹缺陷TSV等效电路的建模方法及装置

本发明公开了一种裂纹缺陷TSV等效电路的建模方法及装置，包括：设计裂纹缺陷TSV结构；其中，裂纹缺陷TSV结构包括金属层、绝缘层、衬底层和裂纹缺陷；建立分布式裂纹缺陷TSV等效电路模型，包括多个结构相同的TSV子模块和裂纹电容Ccrack；根据分布式裂纹缺陷TSV等效电路模型中的RLGC参数确定裂纹缺陷TSV结构中的金属层、绝缘层、衬底层和裂纹缺陷分别的参数；当裂纹缺陷TSV结构和分布式裂纹缺陷TSV等效电路模型各自的仿真结果满足预设误差要求时，将分布式裂纹缺陷TSV等效电路模型作为目标模型。本发明构建的目标模型可以准确地描述具有裂纹缺陷的TSV的特性，并且能够体现更细致高频特性。