基于多方向滤波器的快速三维掩模衍射场计算方法及系统

本发明公开了基于多方向滤波器的快速三维掩模衍射场计算方法及系统，给定任意曲边掩模图案，首先使用一组预先设计的分解模块提取多边形区域以及面向不同方向的边界特征，在训练阶段，应用基于梯度的算法对滤波器进行优化校准。在滤波器校准后，可以基于多向滤波器衍射场计算方法计算任意曲边掩模图案的局部DNF。通过合成所有局部DNF，可以获得完整的DNF。该方法考虑了曲边掩模局部几何方向特征对于掩模衍射效应的影响。综合上述方法，本发明可以提高三维掩模衍射场计算方法的计算精度。加快大规模集成电路版图厚掩模DNF的求解速度。