一种碳化硅舟托及其制造方法

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一种碳化硅舟托及其制造方法
申请号:CN202510261425
申请日期:2025-03-06
公开号:CN120081670A
公开日期:2025-06-03
类型:发明专利
摘要
本发明涉及碳化硅舟托制造的技术领域,具体而言,公开了一种碳化硅舟托及其制造方法,包括以下步骤:S1.通过三维建模软件设计舟托;S2.将多种粒度的碳化硅粉末均匀混合;S3.浆料制作,将粉料和固化剂搅拌混合,得到浆料;S4.通过3D打印装置将舟托的三维模型切片打印成型,且在每层切片之间都涂抹有胶水;S5.在烘箱内对毛坯进行热风干燥;S6.在真空烧结炉内,对毛坯进行真空烧结并排胶;S7.将毛坯经历打磨、机加工、喷砂、纯化、超声波清洗、干燥工艺处理;相较于传统的注射成型,通过3D打印制造碳化硅舟托,能够取消模具的生产制造,降低了生产成本;各种成型参数可视化,降低了成型难度,提高碳化硅舟托的良品率。
技术关键词
舟托 碳化硅粉末 固化剂 真空烧结炉 三维模型 超声波清洗 干燥工艺 打印装置 复合粘结剂 切片 粘接剂 烘箱 热风 涂抹 胶水 速度 保温 成品
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