摘要
本发明公开了一种焊盘交叉分布功率管的封装结构及其工艺,该工艺包括以下步骤:芯片预处理:芯片正面布设晶圆级重布线层,将芯片焊盘电性输入端、输出端交叉分布;芯片包封:将芯片正面朝向基板贴装,包封芯片后上下翻转,重布线层顶面与包封顶面齐平外露;线路层电镀:在外露重布线层的顶面电镀线路层,线路层与重布线层走线相同并覆盖重布线层中部,线路层将重布线层厚度加厚;连接块电镀:在线路层上电镀连接块,连接块沿部分线路层走线方向延伸设置并覆盖线路层中部,包封线路层和连接块并研磨暴露出连接块顶面,本发明线路层将芯片晶圆级的重布线层厚度加厚,减小电阻,增大芯片输出功率和过电流能力。
技术关键词
功率管
线路
芯片
重布线层
电镀
封装结构
层厚度
封装工艺
包封
焊盘
输入端
正面
引线
外露
立柱
输出端
台阶
封装体
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