一种焊盘交叉分布功率管的封装结构及其工艺

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一种焊盘交叉分布功率管的封装结构及其工艺
申请号:CN202510262278
申请日期:2025-03-06
公开号:CN120221421A
公开日期:2025-06-27
类型:发明专利
摘要
本发明公开了一种焊盘交叉分布功率管的封装结构及其工艺,该工艺包括以下步骤:芯片预处理:芯片正面布设晶圆级重布线层,将芯片焊盘电性输入端、输出端交叉分布;芯片包封:将芯片正面朝向基板贴装,包封芯片后上下翻转,重布线层顶面与包封顶面齐平外露;线路层电镀:在外露重布线层的顶面电镀线路层,线路层与重布线层走线相同并覆盖重布线层中部,线路层将重布线层厚度加厚;连接块电镀:在线路层上电镀连接块,连接块沿部分线路层走线方向延伸设置并覆盖线路层中部,包封线路层和连接块并研磨暴露出连接块顶面,本发明线路层将芯片晶圆级的重布线层厚度加厚,减小电阻,增大芯片输出功率和过电流能力。
技术关键词
功率管 线路 芯片 重布线层 电镀 封装结构 层厚度 封装工艺 包封 焊盘 输入端 正面 引线 外露 立柱 输出端 台阶 封装体
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