一种用于全尺寸晶圆芯片磨线头设备

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一种用于全尺寸晶圆芯片磨线头设备
申请号:CN202510264875
申请日期:2025-03-07
公开号:CN119748235B
公开日期:2025-05-30
类型:发明专利
摘要
本发明涉及晶圆芯片处理技术领域,具体地说,涉及一种用于全尺寸晶圆芯片磨线头设备。其包括产品载体、砂轮、修整刀,以及驱动机构;所述驱动机构被配置为驱动产品载体沿Y轴方向运动,以及驱动砂轮沿X轴和Z轴方向运动;所述产品载体具有供晶圆产品以倒置方式放置的承载面,且所述承载面为水平状态,通过Y轴方向运动的限制将晶圆产品的待打磨面限制在固定高度;该用于全尺寸晶圆芯片磨线头设备中,通过将晶圆产品倒置来对待打磨面的高度进行固定,使得不同尺寸的晶圆产品的待打磨面仍然处于同一高度。并且,结合对砂轮设置的初始位置,使得砂轮下降完成修磨的距离能够作为调整砂轮高度的距离的依据。
技术关键词
驱动砂轮 承载台 驱动件 晶圆 芯片 载体 限位机构 尺寸 Y轴 外圈 运动 顶端 抽风机 基板 磁吸 间距 柱状 磁铁 气管
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