耦合粗糙度信息的微结构表面双波长数字全息检测方法

本发明属于数字全息检测与仿生微结构检测技术领域，公开了耦合粗糙度信息的微结构表面多波长数字全息测量方法。该方法包括如下步骤：分别建立耦合粗糙度信息的三维模型和参考物模型，把耦合粗糙度信息的三维模型和参考物模型导入到ZEMAX软件中；在ZEMAX软件的非序列模式中建立数字全息仿真光路，把耦合粗糙度信息的三维模型和参考物模型分别设置到数字全息仿真光路进行光线追迹，通过改变光波长获取耦合粗糙度信息的三维模型和参考物模型的全息图；在MATLAB软件中建立双曝光双波长数字全息重建算法，分别读取耦合粗糙度信息的三维模型和参考物模型的全息图并重建，恢复粗糙度信息模型的三维形貌。