一种基于ALD镀膜的光芯片及其制备方法

本发明公开了一种基于ALD镀膜的光芯片及其制备方法，其中，基于ALD镀膜的光芯片，包括：基底，基底上设置有凹槽结构，凹槽结构的表面设置有光学膜层，基底上设置有光学膜层的区域为光波导镀膜区，基底上凹槽结构以外未设置光学膜层的区域为非镀膜区。本发明公开一种基于ALD镀膜的光芯片及其制备方法；通过ALD镀膜技术在微结构表面沉积光学膜层达到一定的光学性能，保证膜层在微结构区域的有效沉积，满足光芯片对光信号的多种需求。